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早期,椭偏仪主要使用单一波长或少数固定波长进行工作,常见的是通过激光或对弧光进行滤波得到的单色光源。 当前,大多数椭偏仪能够在广泛的波长范围内多波长操作,通常覆盖几百个波长,接近连续光谱。
椭偏仪的光谱范围广泛,涵盖深紫外区的142纳米至红外区的33微米。选择哪种光谱范围,取决于被测材料的特性。例如,如果材料的掺杂浓度对其红外光学性质有重大影响,那么就需要选择能够测量红外波段的椭偏仪。
光谱椭偏仪的构造因其测量需求而有所不同,但核心目标是测量样品反射后光的偏振状态变化量ρ。一种常见配置是通过旋转起偏器和固定检偏器,起偏器用于设定初始偏振状态,检偏器则用来测定输出光束的偏振状态。
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